该厂为8寸大晶圆出产线配套工程的超纯净水系统，每一天引发含硅污废水 150吨。污废水 中虽无天价属，但硅硫含量高易结渣，且电阻功率率需高达18MΩ·cm才可以循环。以往净化处工院艺没有办法需求新实施的《光电工业园水环保问题物排卸规格》（GB39731-2020）格外排卸限制值。 废液化学物质亮点 注意水污染源 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、颗料硅（粒度分布0.1-1μm） 特俗规定 ：TOC<10μg/L，硼含水量<5μg/L 水体功能 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅有机化合物行态比较复杂 进行处理工艺技术注意事项 科学创新选取"梯级膜分离法+电去阳离子"组合名字制作工艺： 微滤预清理 ：1μm陶瓷厂家膜屏蔽大小粒硅，通量保证80LMH 化合物更换聚酯树脂 ：D201大孔不饱和树脂决定性吸出硅酸原子核 二次元RO平台 ：弟一段回收分类处理率60%，第二种段主要采用高脱硼膜电气元件 EDI电去阴阳离子 ：功率容重2A/m²，延续取除残渣铁离子 太阳光的紫外线杀菌的 ：254nm紫外光线药量40mJ/cm² 技术设备重点 搭建专门的阻硅剂（生物碳胺类pp物），延长时间膜污染源时间是3倍 EDI包块改革创新流道设计，硅避开率加快至99.8% 手机在线硅了解仪（侧量范畴0.1-500μg/L）满足精确操纵 开机运行工作成效 经其次方检验： 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L降到0.3μg/L 整体回收处理率从原40%升级至68% 膜更改周期性延长至至5年，年电脑运行总成本变低35%