该晶圆加工厂建在华东省市省市，关键分娩方式8英尺半导体技术晶圆，平均污水尾气废气排放标准单位量约800吨。犹豫分娩方式进程中用多氢佛酸实施晶圆蚀刻，引起污水里面的氟化物浓度值达到了200-300mg/L，远超欧洲国家尾气废气排放标准单位标准单位（10mg/L下面）。 生产废水材质及特征 废污水其主要出自这三个过程： 晶圆蚀刻繁琐流程 ：含低浓度值氟化物（HF）、盐酸及一少部分天价属 物理化学机械性磨光（CMP）污废水 ：含奈米级硅粒子、有机物络合剂 设配清洁工作废渣 ：含异丙醇、高锰酸盐指数等充分物 治理 艺流程图 选取"无机化学析出+混凝土析出+角度净化"三级考试工作模式： 6级工作 ：添加氯化钙和氢被氧化钙，建立氟化钙放置，氟化物的还原率达85% 2级治理 ：加PAC（配位碱式氯化铝）和PAM（聚丙烯塑料酰胺），我们要除电解质溶液态空气废水 三級整理 ：进行多导电介质滤水器和灵活性碳溶解，喷水氟化物溶液浓度维持在8mg/L下类 重点机涵盖：pH自主调试设计、斜管乳浊液池、板框飞灰压滤机（飞灰脱水过滤）。 后面结果 活动启用5年监测网统计数据提示 ： 氟化物平均水平氧化还原电位：7.2mg/L（少于国内原则） COD祛除率：92% 淤泥含水分率：≤65% 年的回收合理利用氟化钙副设备约150吨，保持资源英文化合理利用